近期,我们顺利完成了浙江大学湿度可控动态配气系统GDS-LG42交货验收工作!
近期,我们顺利完成了浙江大学湿度可控动态配气系统GDS-LG42交货验收工作! 1. 温度可控动态配气测试系统包含配气子系统(配气仪)和材料与器件测试子系统两大部分2. 配气系统:型号:GDS-LG42参数:(1) 支持4路以上气体气源和1路以上液体气源连续动态配气,1路以上湿度控制,支持与其他品牌配气仪串联使用增加配气通道数。(2) 流量控制:气体质量流量控制器10sccm-5slm,控制范围2%-100%,流量精度≤±1%F.S,精度:≤±1%F.S,重复性:<±2% Rd,线性:<±0.5...